Yuqori aniqlikdagi yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish mashinalari servo motorlardir. Servolar kremniy gofretlarini ishlatish, texnologik uskunalarni boshqarish va nanometr darajasining aniqligi, favqulodda tezlik va mukammal takrorlanuvchanlik muhim bo'lgan sanoatda ajoyib rentabellikni kafolatlash uchun zarur bo'lgan tartibga solinadigan harakatni taklif qiladi. Ular Mur qonunini amalga oshirishga imkon beradigan asosiy texnologiyadir.
